BALLUFF巴魯夫位移傳感器，德國(guó)BALLUFF巴魯夫位移傳感器，德國(guó)BALLUFF/39529829/39529830：?jiǎn)螛s兵
BALLUFF位移傳感器 位移傳感器又稱(chēng)為線(xiàn)性傳感器，它分為電感式位移傳感器，電容式位移傳感器，光電 式位移傳感器，聲波式位移傳感器，霍爾式位移傳感器。 電感式位移傳感器是一種屬于金屬感應(yīng)的線(xiàn)性器件，接通電源后，在開(kāi)關(guān)的感應(yīng)面將 產(chǎn)生一個(gè)交變磁場(chǎng)，當(dāng)金屬物體接近此感應(yīng)面時(shí)，金屬中則產(chǎn)生渦流而吸取了振蕩器的能 量，使振蕩器輸出幅度線(xiàn)性衰減，然后根據(jù)衰減量的變化來(lái)完成無(wú)接觸檢測(cè)物體的目的。 電感式位移傳感器具有無(wú)滑動(dòng)觸點(diǎn)，工作時(shí)不受灰塵等非金屬因素的影響，并且低功 耗，長(zhǎng)壽命，可使用在各種惡劣條件下。位移傳感器主要應(yīng)用在自動(dòng)化裝備線(xiàn)對(duì)模擬 量的智能控制。 位移是和物體的位置在運(yùn)動(dòng)過(guò)程中的移動(dòng)有關(guān)的量，位移的測(cè)量方式所涉及的范圍是 相當(dāng)廣泛的。小位移通常用應(yīng)變式、電感式、差動(dòng)變壓器式、渦流式、霍爾傳感器來(lái)檢測(cè)， 大的位移常用感應(yīng)同步器、光柵、容柵、磁柵等傳感技術(shù)來(lái)測(cè)量。其中光柵傳感器因具有 易實(shí)現(xiàn)數(shù)字化、精度高（目前分辨率zui高的可達(dá)到納米）、抗干擾能力強(qiáng)、沒(méi)有人為讀 數(shù)誤差、安裝方便、使用可靠等優(yōu)點(diǎn)，在機(jī)床加工、檢測(cè)儀表等中得到日益廣泛的應(yīng) 用。 原理 計(jì)量光柵是利用光柵的莫爾條紋現(xiàn)象來(lái)測(cè)量位移的。“莫爾”原出于法文 Moire，BALLUFF巴魯夫位移傳感器，德國(guó)BALLUFF巴魯夫位移傳感器，德國(guó)BALLUFF/39529829/39529830：?jiǎn)螛s兵
意思 是水波紋。幾百年前法國(guó)絲綢工人發(fā)現(xiàn)，當(dāng)兩層薄絲綢疊在一起時(shí)，將產(chǎn)生水波紋狀花樣； 如果薄綢子相對(duì)運(yùn)動(dòng)，則花樣也跟著移動(dòng)，這種奇怪的花紋就是莫爾條紋。一般來(lái)說(shuō)，只 要是有一定周期的曲線(xiàn)簇重疊起來(lái)，便會(huì)產(chǎn)生莫爾條紋。計(jì)量光柵在實(shí)際應(yīng)用上有透射光 柵和反射光柵兩種；按其作用原理又可分為輻射光柵和相位光柵；按其用途可分為直線(xiàn)光 柵和圓光柵。下面以透射光柵為例加以討論。 透射光柵尺上均勻地刻有平行的刻線(xiàn)即柵 線(xiàn)，a 為刻線(xiàn)寬，b 為兩刻線(xiàn)之間縫寬，W=a+b 稱(chēng)為光柵柵距。目前國(guó)內(nèi)常用的光柵每毫 米刻成 10、25、50、100、250 條等線(xiàn)條。光柵的橫向莫爾條紋測(cè)位移，需要兩塊光柵。 一塊光柵稱(chēng)為主光柵，它的大小與測(cè)量范圍相一致；另一塊是很小的一塊，稱(chēng)為指示光柵。 為了測(cè)量位移，必須在主光柵側(cè)加光源，在指示光柵側(cè)加光電接收元件。當(dāng)主光柵和指示 光柵相對(duì)移動(dòng)時(shí)， 由于光柵的遮光作用而使莫爾條紋移動(dòng)， 固定在指示光柵側(cè)的光電元件， 將光強(qiáng)變化轉(zhuǎn)換成電信號(hào)。 由于光源的大小有限及光柵的衍射作用， 使得信號(hào)為脈動(dòng)信號(hào)。 如圖 1，此信號(hào)是一直流信號(hào)和近視正弦的周期信號(hào)的疊加，周期信號(hào)是位移 x 的函數(shù)。 每當(dāng) x 變化一個(gè)光柵柵距 W，信號(hào)就變化一個(gè)周期，信號(hào)由 b 點(diǎn)變化到 b’點(diǎn)。由于 bb’= W，故 b’點(diǎn)的狀態(tài)與 b 點(diǎn)狀態(tài)*一樣，只是在相位上增加了 2π。 信號(hào)處理 1、辨向原理 在實(shí)際應(yīng)用中，位移具有兩個(gè)方向，即選定一個(gè)方向后，位移有正負(fù)之 分，因此用一個(gè)光電元件測(cè)定莫爾條紋信號(hào)確定不了位移方向。為了辨向，需要有 π/2 相位差的兩個(gè)莫爾條紋信號(hào)。BALLUFF巴魯夫位移傳感器，德國(guó)BALLUFF巴魯夫位移傳感器，德國(guó)BALLUFF/39529829/39529830：?jiǎn)螛s兵
如圖 2，在相距 1/4 條紋間距的位置上安放兩個(gè)光電元件， 得到兩個(gè)相位差 π/2 的電信號(hào) u01 和 u02，經(jīng)過(guò)整形后得到兩個(gè)方波信號(hào) u01’和 u02’。 光柵正向移動(dòng)時(shí) u01 前 u02 90 度，反向移動(dòng)時(shí) u02 前 u01 90 度，故通過(guò)電路辨相 可確定光柵運(yùn)動(dòng)方向。 2、細(xì)分技術(shù) 隨著對(duì)測(cè)量精度要求的提高，以柵距為單位已不能滿(mǎn)足要求，需要采取 適當(dāng)?shù)拇胧��?duì)莫爾條紋進(jìn)行細(xì)分。所謂細(xì)分就是在莫爾條紋信號(hào)變化一個(gè)周期內(nèi)，發(fā)出若 干個(gè)脈沖，以減少脈沖當(dāng)量。如一個(gè)周期內(nèi)發(fā)出 n 個(gè)脈沖，則可使測(cè)量精度提高 n 備，而 每個(gè)脈沖相當(dāng)于原來(lái)柵距的 1/n。 由于細(xì)分后計(jì)數(shù)脈沖頻率提高了 n 倍， 因此也稱(chēng) n 倍頻。 通常用的有兩種細(xì)分方法：其一、直接細(xì)分。在相差 1/4 莫爾條紋間距的位置上安放 兩個(gè)光電元件，可得到兩個(gè)相位差 90o 的電信號(hào)，用反相器反相后就得到四個(gè)依次相差 9 0o 的交流信號(hào)。同樣，在兩莫爾條紋間放置四個(gè)依次相距 1/4 條紋間距的光電元件，也可 獲得四個(gè)相位差 90o 的交流信號(hào)，實(shí)現(xiàn)四倍頻細(xì)分。其二、電路細(xì)分。 集成電路 四倍頻集成電路 QA740210 同時(shí)具有辨相和四倍頻細(xì)分的功能， 可將兩路正交的 方波進(jìn)行四倍頻后產(chǎn)生兩路加、減計(jì)數(shù)信號(hào)，可送雙時(shí)鐘可逆計(jì)數(shù)器進(jìn)行加、減計(jì)數(shù)，也 可直接送微型計(jì)算機(jī)（包括單片機(jī)）進(jìn)行數(shù)據(jù)處理。 1、特點(diǎn)： ⑴、數(shù)字化微分電路：4 路微分信號(hào)脈寬由主頻周期決定，因此，是一致的，而且可 在很大范圍里方便地選擇。 ⑵、臨界報(bào)警與過(guò)速報(bào)警兩檔速度提示：可在光柵運(yùn)動(dòng)速度接近極限值時(shí)給出臨界報(bào) 警信息， 以便操作者及時(shí)控制光柵運(yùn)動(dòng)快慢。 在速度過(guò)極限值時(shí)本電路將給出出錯(cuò)信息。 ⑶、零位控制：零位的設(shè)置將給操作者帶來(lái)許多方便，如故障斷電后的重新 定位等。本電路有“到零位開(kāi)始計(jì)數(shù)”和“到零位停止計(jì)數(shù)”，以及“與零位無(wú)關(guān)” 三種工作模式。 ⑷、片選：本電路設(shè)有片選端，可以構(gòu)成多標(biāo)數(shù)顯系統(tǒng)。/39529829/39529830：?jiǎn)螛s兵
 ⑸、COMS 工藝：輸入輸出的電壓電流與 4000 系列 CMOS 及 LSTTL 電路兼容。 位移傳感器的原理與應(yīng)用 位移傳感器的分類(lèi) 1、根據(jù)運(yùn)動(dòng)方式分類(lèi): 直線(xiàn)位移傳感器 1、根據(jù)運(yùn)動(dòng)方式分類(lèi): 直線(xiàn)位移傳感器 原理： 直線(xiàn)位移傳感器的功能在于把直線(xiàn)機(jī)械位移量轉(zhuǎn)換成電信號(hào)。為了達(dá)到這一效果，通 常將可變電阻滑軌定置在傳感器的固定部位，通過(guò)滑片在滑軌上的位移來(lái)測(cè)量不同的阻 值。傳感器滑軌連接穩(wěn)態(tài)直流電壓，允許流過(guò)微安培的小電流，滑片和始端之間的電壓， 與滑片移動(dòng)的長(zhǎng)度成正比。將傳感器用作分壓器可zui大限度降低對(duì)滑軌總阻值性的要 求，因?yàn)橛蓽囟茸兓�引起的阻值變化不�?huì)影響到測(cè)量結(jié)果。 LT 直線(xiàn)位移傳感器： ⊙ 廣泛應(yīng)用于注塑、機(jī)床及機(jī)械加工等 ⊙ 無(wú)限分辨率 ⊙ 行程：50 至 900mm ⊙ 獨(dú)立線(xiàn)性度：±0.05% ⊙ 位移速度達(dá)到：5m/s、10 m/s 可選 ⊙ 工作溫度：-30 至+100℃ ⊙ 多種電氣連接方式 ⊙ 保護(hù)等：IP60（IP65 可選） 角度位移傳感器 2、根據(jù)材質(zhì)分類(lèi): 金屬膜傳感器、導(dǎo)電塑料傳感器、光電式傳感器、磁敏式傳感器、金屬玻璃鈾傳感器、 繞線(xiàn)傳感器 電位器式位移傳感器 它通過(guò)電位器元件將機(jī)械位移轉(zhuǎn)換成與之成線(xiàn)性或任意函數(shù)關(guān) 系的電阻或電壓輸出。普通直線(xiàn)電位器和圓形電位器都可分別用作直線(xiàn)位移和角位移傳感 器。但是，為實(shí)現(xiàn)測(cè)量位移目的而設(shè)計(jì)的電位器，要求在位移變化和電阻變化之間有一個(gè) 確定關(guān)系。圖 1 中的電位器式位移傳感器的可動(dòng)電刷與被測(cè)物體相連。物體的位移引起電 位器移動(dòng)端的電阻變化。阻值的變化量反映了位移的量值，阻值的增加還是減小則表明了 位移的方向。通常在電位器上通以電源電壓，以把電阻變化轉(zhuǎn)換為電壓輸出。線(xiàn)繞式電位 器由于其電刷移動(dòng)時(shí)電阻以匝電阻為階梯而變化，其輸出特性亦呈階梯形。如果這種位移 傳感器在伺服系統(tǒng)中用作位移反饋元件，則過(guò)大的階躍電壓會(huì)引起系統(tǒng)振蕩。因此在電位 器的制作中應(yīng)盡量減小每匝的電阻值。電位器式傳感器的另一個(gè)主要缺點(diǎn)是易磨損。它的 優(yōu)點(diǎn)是：結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，輸出信號(hào)大，使用方便，價(jià)格低廉。 霍耳式位移傳感器 它的測(cè)量原理是保持霍耳元件（見(jiàn)半導(dǎo)體磁敏元件）的激勵(lì)電流 不變，并使其在一個(gè)梯度均勻的磁場(chǎng)中移動(dòng)，則所移動(dòng)的位移正比于輸出的霍耳電勢(shì)。磁 場(chǎng)梯度越大，靈敏度越高；梯度變化越均勻,霍耳電勢(shì)與位移的關(guān)系越接近于線(xiàn)性。圖 2 中是三種產(chǎn)生梯度磁場(chǎng)的磁系統(tǒng)：a 系統(tǒng)的線(xiàn)性范圍窄，位移 Z=0 時(shí)，霍耳電勢(shì)≠0；b 系 統(tǒng)當(dāng) Z<2 毫米時(shí)具有良好的線(xiàn)性，Z=0 時(shí),霍耳電勢(shì)=0；c 系統(tǒng)的靈敏度高,測(cè)量范圍小于 1 毫米。圖中 N、S 分別表示正、負(fù)磁極�；舳�式位移傳感器的慣性小、/39529829/39529830：?jiǎn)螛s兵
頻響高、工作可 靠、壽命長(zhǎng)，因此常用于將各種非電量轉(zhuǎn)換成位移后再進(jìn)行測(cè)量的場(chǎng)合。 光電式位移傳感器 它根據(jù)被測(cè)對(duì)象阻擋光通量的多少來(lái)測(cè)量對(duì)象的位移或幾何尺 寸。特點(diǎn)是屬于非接觸式測(cè)量，并可進(jìn)行連續(xù)測(cè)量。光電式位移傳感器常用于連續(xù)測(cè)量線(xiàn) 材直徑或在帶材邊緣位置控制系統(tǒng)中用作邊緣位置傳感器。 主要特性參數(shù) ： 標(biāo)稱(chēng)阻值：電位器上面所標(biāo)示的阻值。 重復(fù)精度:此參數(shù)越小越好. 分辨率:位移傳感器所能反饋的zui小位移數(shù)值.此參數(shù)越小越好.導(dǎo)電塑料位移傳感器 分辨率為無(wú)窮小. 允許誤差：標(biāo)稱(chēng)阻值與實(shí)際阻值的差值跟標(biāo)稱(chēng)阻值之比的百分?jǐn)?shù)稱(chēng)阻值偏差，它表示 電位器的精度。允許誤差一般只要在 ±20%以?xún)?nèi)就符合要求,因?yàn)橐话阄灰苽鞲衅魇且苑謮旱姆绞絹?lái)使用,具體電阻的大小 對(duì)傳感器的數(shù)據(jù)采集沒(méi)有影響. 線(xiàn)性精度:直線(xiàn)性誤差.此參數(shù)越小越好. 壽命:導(dǎo)電塑料位移傳感器都在 200 萬(wàn)次以上. 常用傳感器特性： 常用傳感器特性 ： 導(dǎo)電塑料位移傳感器: 用特殊工藝將 DAP（鄰苯二甲酸二稀丙脂）電阻漿料覆在絕緣機(jī)體上，加熱聚合成電 阻膜，或?qū)?DAP 電阻粉熱塑壓在絕緣基體的凹槽內(nèi)形成的實(shí)心體作為電阻體。特點(diǎn)是： 平滑性好、分辯力優(yōu)異耐磨性好、壽命長(zhǎng)、動(dòng)噪聲小、可靠性*、耐化學(xué)腐蝕。用于宇 宙裝置、導(dǎo)彈、飛機(jī)雷達(dá)天線(xiàn)的伺服系統(tǒng)等。 繞線(xiàn)位移傳感器:是將康銅絲或鎳鉻合金絲作為電阻體，并把它繞在絕緣骨架上制成。 繞線(xiàn)電位器特點(diǎn)是接觸電 阻小，精度高，溫度系數(shù)小，其缺點(diǎn)是分辨力差，阻值偏低， 高頻特性差。主要用作分壓器、變阻器、儀器中調(diào)零和工作點(diǎn)等。 金屬玻璃鈾位移傳感器: 用絲網(wǎng)印刷法按照一定圖形，將金屬玻璃鈾電阻漿料涂覆在陶瓷基體上，經(jīng)高溫?zé)�結(jié) 而成。特點(diǎn)是：阻值范圍寬，耐熱性好，過(guò)載能力強(qiáng)，耐潮，耐磨等都很好， 是很有前途的電位器品種，缺點(diǎn)是接觸電阻和電流噪聲大。 金屬膜位移傳感器: 金屬膜電位器的電阻體可由合金膜、金屬氧化膜、金屬箔等分別組成。特點(diǎn)是分辨力 高、耐高溫、溫度系數(shù)小、動(dòng)噪聲小、平滑性好。 磁敏式位移傳感器: 消除了機(jī)械接觸，壽命長(zhǎng)、可靠性高，缺點(diǎn)：對(duì)工作環(huán)境要求較高. 光電式位移傳感器: 消除了機(jī)械接觸，壽命長(zhǎng)、可靠性高，缺點(diǎn)：數(shù)字信號(hào)輸出,處理煩瑣. 編輯本段] [編輯本段 編輯本段 傳感器市場(chǎng)發(fā)展前景咨詢(xún)公司 INTECHNOCONSULTING 的傳感器市場(chǎng)報(bào)告顯示，2008 年傳感器市 場(chǎng)容量為 506 億美元，預(yù)計(jì) 2010 年傳感器市場(chǎng)可達(dá) 600 億美元以上。調(diào)查顯示，東 歐、亞太區(qū)和加拿大成為傳感器市場(chǎng)增長(zhǎng)zui快的地區(qū)，而美國(guó)、德國(guó)、日本依舊是傳感器 市場(chǎng)分布zui大的地區(qū)。就世界范圍而言，傳感器市場(chǎng)上增長(zhǎng)zui快的依舊是汽車(chē)市場(chǎng)，占 二位的是過(guò)程控制市場(chǎng)，看好通訊市場(chǎng)前景。 一些傳感器市場(chǎng)比如壓力傳感器、溫度傳感器、流量傳感器、水平傳感器已表現(xiàn)出成 熟市場(chǎng)的特征。流量傳感器、壓力傳感器、溫度傳感器的市場(chǎng)規(guī)模zui大，分別占到整個(gè)傳 感器市場(chǎng)的 21%、19%和 14%。傳感器市場(chǎng)的主要增長(zhǎng)來(lái)自于無(wú)線(xiàn)傳感器、MEMS（Micr o-Electro-MechanicalSystems，微機(jī)電系統(tǒng)）傳感器、生物傳感器等新興傳感器。其中，/39529829/39529830：?jiǎn)螛s兵
 無(wú)線(xiàn)傳感器在 2007-2010 年復(fù)合年增長(zhǎng)率預(yù)計(jì)會(huì)過(guò) 25%。 目前，的傳感器市場(chǎng)在不斷變化的創(chuàng)新之中呈現(xiàn)出快速增長(zhǎng)的趨勢(shì)。有關(guān)專(zhuān)家指 出，傳感器域的主要技術(shù)將在現(xiàn)有基礎(chǔ)上予以延伸和提高，各國(guó)將競(jìng)相加速新一代傳感 器的開(kāi)發(fā)和產(chǎn)業(yè)化，競(jìng)爭(zhēng)也將日益激烈。新技術(shù)的發(fā)展將重新定義未來(lái)的傳感器市場(chǎng)，比 如無(wú)線(xiàn)傳感器、光纖傳感器、智能傳感器和金屬氧化傳感器等新型傳感器的出現(xiàn)與市場(chǎng)份 額的擴(kuò)大。 數(shù)字激光位移傳感器 激光位移傳感器可非接觸測(cè)量被測(cè)物體的位置、位移等變化，主要應(yīng)用于檢測(cè)物 的位移、厚度、振動(dòng)、距離、直徑等幾何量的測(cè)量。 按照測(cè)量原理,激光位移傳感器原理分為激光三角測(cè)量法和激光回波分析法,激光三角 測(cè)量法一般適用于高精度、短距離的測(cè)量，而激光回波分析法則用于遠(yuǎn)距離測(cè)量。 1、 激光三角測(cè)量法原理： 激光發(fā)射器通過(guò)鏡頭將可見(jiàn)紅色激光射向被測(cè)物體表面，經(jīng)物體反射的激光通過(guò)接收 器鏡頭，被內(nèi)部的 CCD 線(xiàn)性相機(jī)接收，根據(jù)不同的距離，CCD 線(xiàn)性相機(jī)可以在不同的角 度下“看見(jiàn)”這個(gè)光點(diǎn)。根據(jù)這個(gè)角度及已知的激光和相機(jī)之間的距離，數(shù)字信號(hào)處理器就 能計(jì)算出傳感器和被測(cè)物體之間的距離。同時(shí)，光束在接收元件的位置通過(guò)模擬和數(shù)字電 路處理，并通過(guò)微處理器分析，計(jì)算出相應(yīng)的輸出值，并在用戶(hù)設(shè)定的模擬量窗口內(nèi)，按 比例輸出標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)信號(hào)。如果使用開(kāi)關(guān)量輸出，則在設(shè)定的窗口內(nèi)導(dǎo)通，窗口之外截止。 另外，模擬量與開(kāi)關(guān)量輸出可獨(dú)立設(shè)置檢測(cè)窗口。<br>貝特威擁有業(yè)界zui為齊全的高精度 激光三角測(cè)量傳感器，zui高分辨率可以達(dá)到 0.03um，zui遠(yuǎn)檢測(cè)距離可以達(dá)到 5.4m,為高 精度測(cè)量檢測(cè)提供全面的解決方案。 2、激光位移傳感器采用回波分析原理來(lái)測(cè)量距離以達(dá)到一定程度的精度。傳感器內(nèi) 部是由處理器單元、回波處理單元、激光發(fā)射器、激光接收器等部分組成。激光位移傳感 器通過(guò)激光發(fā)射器每秒發(fā)射一百萬(wàn)個(gè)激光脈沖到檢測(cè)物并返回至接收器，處理器計(jì)算激光 脈沖遇到檢測(cè)物并返回至接收器所需的時(shí)間，以此計(jì)算出距離值，該輸出值是將上千次的 測(cè)量結(jié)果進(jìn)行的平均輸出。激光回波分析法適合于長(zhǎng)距離檢測(cè)，但測(cè)量精度相對(duì)于激光三 角測(cè)量法要低。
電位器式位移傳感器 它通過(guò)電位器元件將機(jī)械位移轉(zhuǎn)換成與之成線(xiàn)性或任意函數(shù)關(guān)系的電阻或電壓輸出。普通直線(xiàn)電位器和圓形電位器都可分別用作直線(xiàn)位移和角位移傳感器。但是，為實(shí)現(xiàn)測(cè)量位移目的而設(shè)計(jì)的電位器，要求在位移變化和電阻變化之間有一個(gè)確定關(guān)系。/39529829/39529830：?jiǎn)螛s兵
圖1中的電位器式位移傳感器的可動(dòng)電刷與被測(cè)物體相連。物體的位移引起電位器移動(dòng)端的電阻變化。阻值的變化量反映了位移的量值，阻值的增加還是減小則表明了位移的方向。通常在電位器上通以電源電壓，以把電阻變化轉(zhuǎn)換為電壓輸出。線(xiàn)繞式電位器由于其電刷移動(dòng)時(shí)電阻以匝電阻為階梯而變化，其輸出特性亦呈階梯形。如果這種位移傳感器在伺服系統(tǒng)中用作位移反饋元件，則過(guò)大的階躍電壓會(huì)引起系統(tǒng)振蕩。因此在電位器的制作中應(yīng)盡量減小每匝的電阻值。電位器式傳感器的另一個(gè)主要缺點(diǎn)是易磨損。它的優(yōu)點(diǎn)是：結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，輸出信號(hào)大，使用方便，價(jià)格低廉。 　　霍耳式位移傳感器 它的測(cè)量原理是保持霍耳元件（見(jiàn)半導(dǎo)體磁敏元件）的激勵(lì)電流不變，并使其在一個(gè)梯度均勻的磁場(chǎng)中移動(dòng)，則所移動(dòng)的位移正比于輸出的霍耳電勢(shì)。磁場(chǎng)梯度越大，靈敏度越高；梯度變化越均勻,霍耳電勢(shì)與位移的關(guān)系越接近于線(xiàn)性。圖2中是三種產(chǎn)生梯度磁場(chǎng)的磁系統(tǒng)：a系統(tǒng)的線(xiàn)性范圍窄，位移Z=0時(shí)，霍耳電勢(shì)≠0；b系統(tǒng)當(dāng)Z<2毫米時(shí)具有良好的線(xiàn)性，Z=0時(shí),霍耳電勢(shì)=0；c系統(tǒng)的靈敏度高,測(cè)量范圍小于1毫米。圖中N、S分別表示正、負(fù)磁極�；舳�式位移傳感器的慣性小、頻響高、工作可靠、壽命長(zhǎng)，因此常用于將各種非電量轉(zhuǎn)換成位移后再進(jìn)行測(cè)量的場(chǎng)合。 　　光電式位移傳感器 它根據(jù)被測(cè)對(duì)象阻擋光通量的多少來(lái)測(cè)量對(duì)象的位移或幾何尺寸。特點(diǎn)是屬于非接觸式測(cè)量，并可進(jìn)行連續(xù)測(cè)量。光電式位移傳感器常用于連續(xù)測(cè)量線(xiàn)材直徑或在帶材邊緣位置控制系統(tǒng)中用作邊緣位置傳感器。/39529829/39529830：?jiǎn)螛s兵